微观装置的制造及其处理118图库开奖结果
  • 碳纳米管结构的118论坛118图库方法
    本发明涉及碳纳米管手性的,特别涉及一种控制手性得到的碳纳米管结构。碳纳米管由于具有高的杨氏模量和抗拉强度、高的热导率等优良的特性而受到广泛的关注。传统的化学气相沉积方法制备出的单壁碳纳米管中,金属性碳纳米管和半导体性碳纳米管所占比例约为1:2。为了能够得到纯度更高的半导体性碳纳米管...
  • Si(100)晶片上平直的Si{111}与Si{110}面交线的制备方法与流程
    本发明涉及半导体领域的MEMS器件结构118论坛118图库118图库开奖结果,具体涉及一种Si(100)晶片上平直的Si{111}与Si{110}面交线的制备方法。MEMS器件的118论坛118图库常涉及通过刻蚀工艺118论坛118图库硅结构。硅刻蚀工艺分为干法刻蚀和湿法刻蚀。与干法刻蚀相比,湿法刻蚀对设备要求低,片内均匀性、工艺稳定性和重复性好,适...
  • 半导体118论坛118图库工艺的118论坛118图库方法
    本发明涉及一种半导体118论坛118图库工艺,且特别是涉及一种在进行晶背118论坛118图库工艺(backsideprocess)时对晶片的正面进行保护的半导体118论坛118图库工艺。目前,在对晶片的背面进行图案化118论坛118图库工艺来形成开口(如,空腔(cavity)或穿孔(throughhole))时,业界常使用光致抗蚀剂材料作为保护层来...
  • 一种单片集成惯性器件工艺兼容方法与流程
    本发明涉及微型惯性测量单元(MIMU)领域,具体涉及一种单片集成惯性器件工艺兼容方法。MEMS惯性传感器是检测和测量加速度、倾斜、冲击、旋转和多自由度运动的微型传感器,是解决导航、定向和运动载体控制的重要部件,它主要包括微机械加速度计、微机械陀螺仪以及利用单轴、双轴或三轴的加速度计和陀螺仪...
  • 具有形状记忆功能的超疏水表面及其加工方法、使用方法与流程
    本发明涉及形状记忆聚合物领域,具体是一种具有形状记忆功能的超疏水表面及其加工方法、使用方法。在过去的十几年中,具有可逆切换润湿性的智能表面因其在工业和科学中的广泛118图库而引起了科学界极大的兴趣,比如基于微滴的微流体、“无损”液体传输、油水分离和生物118图库开奖结果等。这种可逆转换一般是通过外界刺激来实现...
  • 降低到附接MEMS裸芯的应力传递的方法和附接层结构与流程
    本发明总体上涉及微机电系统(MEMS)裸芯。特别地,本发明涉及一种将MEMS裸芯连接到安装表面的改进方法,其在MEMS裸芯和安装表面之间提供附接层,并且降低了到MEMS裸芯的应力传递。根据已知的方法,将焊膏或焊料预制件放置在安装表面上,例如阀、流体控制装置、流体系统参数感测装置等的基座。然...
  • 半导体器件封装及制造其之方法与流程
    本发明涉及一种半导体器件封装,及更具体地涉及一种半导体器件封装,其包括具有一空气释放结构之一基板。微机电系统(MEMS)芯片可包括膜和盖。MEMS芯片的盖可经由粘胶附接到基板以形成半导体封装。在制造过程中,可加热半导体封装以固化盖和基板之间的粘胶。然而,热循环可能导致半导体封装内的空气膨胀...
  • 吊装式可释放应力的MEMS器件封装结构的118论坛118图库方法
    本实用新型属于MEMS传感器封装,尤其涉及一种吊装式可释放应力的MEMS器件封装结构。MEMS(微机电系统)传感器目前已被广泛118图库于消费类电子、汽车电子、物联网、国防工业以及众多工业类产品,随着118图库开奖结果的发展,对MEMS传感器的性能也提出了越来越高的要求。而外界应力和温度对MEMS传感...
  • 一种金属悬臂梁结构的118论坛118图库方法
    本实用新型涉及半导体,尤其涉及一种金属悬臂梁。半导体是现代工业的基础,随着信息化、数字化时代的来临,电子产品的普及率已经达到了很高的水平,作为电子产品的基本元器件,半导体起到了举足轻重的地位。在半导体器件进行工作中,有一定的功能需要控制驱动半导体器件进行朝一方向运动,现有118图库开奖结果中往往...
  • 一种用于液路集成的多歧管基板的118论坛118图库方法
    本实用新型涉及多歧管基板,具体为一种用于液路集成的多歧管基板。多歧管基板是由多层有机玻璃(PMMA)键合而成的三次元流路。多岐管基板可以实现2层以上的三维立体沟道,形成常规机械加工无法完成的三维立体液路结构。多歧管基板采用微纳键合118图库开奖结果,不使用任何粘合剂,不会对流路内部造成任何污染,...
  • 一种硅基结构的微热板的118论坛118图库方法
    本实用新型属于半导体传感器领域,具体涉及一种硅基结构的微热板。工业的迅速发展在带来可观利益的同时,也对环境造成了污染。工厂排放的有害有毒气体时刻在危害着生态环境和人类的健康。在个人家庭中,易燃、易爆气体同样存在着威胁。气敏传感器是一种电子鼻,它能够检测到空气中的有毒有害气体,并将检测到的气...
  • 芯片晶圆封装方法、微机电系统封装方法及微机电系统与流程
    本发明涉及微机电,尤其涉及一种芯片晶圆封装方法、微机电系统封装方法及微机电系统。微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)芯片是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成芯片、接口、通信等于一体的微...
  • 本发明属于传感器制造,具体涉及一种MEMS兼容的多传感器三维集成方法。目前,市面上的传感器种类多种多样,如电场传感器、电容加速度传感器、压力传感器、温度传感器及湿度传感器,这些传感器被118图库于检测不同的环境数据。目前大部分前述传感器都是独立制造的,然后将不同的传感器安装在同一个安装合...
  • 本发明属于微机电系统和微纳米加工,涉及一种柔性聚合物表面上金属纳米裂纹的制造方法。在机械工程、材料工程等领域中,裂纹通常被认为是材料发生了破坏失效,因此人们总是设法避免裂纹的产生。然而,近年来科学家们试图从积极的一面重新认识裂纹,并利用裂纹现象开展了许多方面的118图库研究。例如,韩国科...
  • 本发明属于微电子机械系统(MEMS),更具体地,涉及具有表面保护层的MEMS器件制造方法及MEMS器件。MEMS(MicroElectromechanicalSystem,即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统...
  • 微机电传感器和MEMS装置的118论坛118图库方法
    本公开涉及一种微机电传感器和MEMS装置。例如在工业或汽车领域存在若干118图库,需要使用具有高满缩放量程值的力/压力传感器来测量高范围负载(力或压力)值,例如高达10kN或更高。用于感测高范围负载的已知传感器解决方案通常设想使用高强度金属负载单元,包括不同种类的应变计作为感测元件。应变计感测元...
  • 一种用于测量液体粘度的MEMS芯片的118论坛118图库方法
    本实用新型涉及液体粘度测量领域,特别地涉及一种用于测量液体粘度的芯片。粘度测量是石油、化工、冶金、国防、医疗卫生等多个领域的必备118图库开奖结果,与获得准确的检测数据、生产流程控制、提高产品质量、开发和节约能源都有着密不可分的关系。具体地,当液体在稳定流动时,一般情况下属于稳定层流的情况,也就是同一层...
  • 一种MEMS芯片数控加工仪的118论坛118图库方法
    本发明涉及芯片数控加工,具体为一种MEMS芯片数控加工仪。微流控芯片是指在一块几平方厘米的芯片上构建的化学或生物实验室,它把化学或生物学中所涉及的样品制备、反应、分离和检测,细胞培养、分选和裂解等基本操作单元集成到一块很小的芯片上,由微通道形成网络,以可控流体贯穿整个系统,用以实现...
  • 基于摩擦诱导TMAH选择性刻蚀的硅表面纳米加工方法与流程
    本发明属于单晶硅,具体涉及一种基于TMAH溶液中摩擦诱导选择性刻蚀的硅表面纳米加工方法。随着世界的快速发展,由于智能材料在执行复杂的功能时的优越性,使得智能材料变得越来越重要。微机电系统(MEMS)在过去的十年中得到了广泛的118图库。而单晶硅由于其优异的机械性能以及丰富的储备量,被广泛...
  • 一种金属纳米针尖阵列的制备方法与流程
    本发明涉及一种金属纳米针尖阵列的制备方法。纳米针尖或纳米锥作为一种特殊的纳米结构,在冷阴极场发射电子、扫描探针显微镜、生物化学传感和抗反射涂层等领域具有广泛的118图库。目前用于制备纳米针尖的方法主要包括光刻118图库开奖结果、电子束诱导沉积、激光热解和物理化学气相沉积。例如:中国专利公开号CN106809...
118图库开奖结果分类