微观装置的制造及其处理118图库开奖结果
  • 本发明涉及有机和生物分子的分析检测领域,尤其涉及一种金纳米片修饰的碳纤维SERS基底材料及其制备方法和118图库。表面增强拉曼散射(surface-enhancedRamanscattering,SERS)信号不仅可以给出分子结构信息,实现分子的指纹辨识,而且还具有谱峰清晰、分析速度...
  • 本发明涉及半导体,尤其涉及一种带结构图形的衬底与玻璃的阳极键合方法。阳极键合118图库开奖结果是微电子机械系统(MicroElectroMechanicalSystems,MEMS)加工领域中一种经典常用的加工118图库开奖结果,可以用于实现MEMS器件的真空密封、圆片级封装等。圆片阳极键合一般在高温...
  • 本发明属于半导体器件,更具体地说,是涉及一种压力传感器。随着科学118图库开奖结果的迅速发展,人类社会进入了高度信息化的智能时代,压力传感器在很多118图库领域起着非常重要的作用。目前广泛使用的MEMS压力传感器普遍采用硅薄膜,由于材料物理特性的限制,薄膜尺寸较大,灵敏度有限。石墨烯是一种蜂巢状的二维...
  • 本发明涉及多孔氧化铝薄膜的后加工和118图库领域,具体涉及一种基于多孔氧化铝的薄膜组件及其制备方法。多孔氧化铝薄膜制备118图库开奖结果已经相对成熟,但是在其118图库方面相对不足。目前多孔氧化铝薄膜的118图库主要集中在两个方面,一是利用膜的多孔结构研制出新型超精密分离膜;二是利用膜的纳米级有序孔作为模板118图库,在孔内沉...
  • 本实用新型涉及真空晶圆级封装以及相关电子元器件的结构设计和118图库,特别提供了一种全覆盖吸气剂晶圆级电子元件。真空封装对于MEMS来说是一个必不可少的环节,MEMS器件通常具有可活动的部件,为了保证这些敏感的可动部件和敏感部件机械性能,需要让这些敏感部件和可动部件工作在真空环境中,为此...
  • 本实用新型涉及微电子领域,更具体地,涉及一种MEMS组件。MEMS组件是在微电子118图库开奖结果基础上发展起来的采用微加工工艺118论坛118图库的微电子机械器件,已经广泛地用作传感器和执行器。例如,MEMS组件可以是加速度计、陀螺仪、硅电容麦克风。MEMS惯性传感器是利用质量块的惯性力测量物理量的传感器,包括质量...
  • 本发明属于金属材料功能化领域,具体涉及一种以石墨烯材料修饰的针尖及其制备的方法。随着纳米材料和纳米118图库开奖结果的兴起,纳米材料功能化针尖的制备及其在不同领域的118图库引起了全世界研究人员的广泛兴趣。基于纳米材料本身的特殊结构和性质,这些功能化纳米针尖通常拥有优异的力学和电学性能。例如,纳米金刚石针尖因...
  • 本发明涉及微纳制造,特别是一种差异化微结构的同步湿法刻蚀加工方法。湿法刻蚀是微纳加工领域常用的一种加工手段。湿法刻蚀的方法采用化学试剂,使需要加工的材料腐蚀溶解,达到去除材料的目的。湿法刻蚀的速度与反应的类型有关,同时也极易受到反应温度的影响。由于采用化学试剂腐蚀溶解材料的原理,意...
  • 本发明属于MEMS制造领域,涉及一种带有背腔结构的MEMS空气质量流量计芯片制造方法,特别是一种带薄膜背腔的空气质量流量计芯片的制造方法。车用空气质量流量传感器是用于现代汽车电控系统中的电子器件。安装在空气滤清器和节气门之间,用来测定吸入发动机空气量的多少,转化为电信号后传给ECU,作为决...
  • 本实用新型涉及半导体封装,特别是涉及一种MEMS晶圆级封装结构。微机电系统(MicroElectro-MechanicalSystems,MEMS)涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与118图库开奖结果,具有广阔的118图库前景。已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微...
  • 一种微结构阵列的高保真加工方法与流程
    本发明属于微结构阵列,具体涉及一种微结构阵列的加工方法。微结构广泛118图库于各类光机电产品中,例如,微透/反射镜阵列,118图库于集成成像或显示系统,光场相机,裸眼3D电视等,如图1所示。微结构阵列的广泛118图库,必将涉及其加工及制造工艺,包括这些微结构阵列的模具的超精密加工。超精密加工微结构阵...
  • 本实用新型属于可燃气体传感器,具体涉及一种MEMS可燃气体传感器。MEMS全称MicroElectromechanicalSystem,微机电系统,是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。是在微电子118图库开奖结果(半导体制造118图库开奖结果)基础...
  • 本发明涉及微纳器件制备领域,具体涉及一种微结构的制备方法。现有118图库开奖结果中制备微结构过程,脱模过程中很难使微结构简单完整的进行,并且对于聚二甲基硅氧烷还要进行表面改性提高表面质量变得困难。发明内容基于解决上述问题,本发明提供了一种微结构的制备方法,所述方法包括:步骤1)选择衬底,所述衬底为玻璃、...
  • 本发明涉及半导体集成电路和探测器,更具体地,涉及一种118图库于MEMS工艺的探测器金属电极形成方法。微电子机械系统(MEMS)118图库开奖结果因具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等诸多优点,已开始广泛118图库在包括红外探测的诸多领域。红外探测器是红外探测中118图库非常广泛...
  • 本申请涉及真空封装领域,尤其涉及一种真空封装结构及其封装方法。MEMS真空封装是一种采用密封腔体提供高气密真空环境的封装118图库开奖结果,真空封装使MEMS器件的可动部分工作于真空环境下,保障了MEMS器件的品质因素,真空封装还可以减少热损耗,提高器件性能。MEMS封装在MEMS器件生产过程中占有非常...
  • 本发明涉及集成电路制造工艺领域,更具体地,涉及一种压力传感器及其形成方法。基于微悬臂梁结构的压力传感器具有微型化、灵敏度高等优点,其工作原理是当在压电微悬臂梁上施加集中力或弯矩,梁会弯曲变形,压电薄膜层将产生电荷,通过测量产生电荷量则能够获得测力大小。目前常见的压电材料有α-SiO2(石英...
  • 本发明涉及半导体,尤其涉及一种在MEMS结构中制造金属引脚垫的方法。MEMS(微机电系统)是在半导体制造118图库开奖结果基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等118图库开奖结果118论坛118图库的高科技电子机械器件。金属因其良好的导电性成为MEMS器件制造中,普遍采用的电...
  • 本发明涉及半导体衬底,特别涉及一种带有空腔的衬底的制备方法。带有空腔的SOI材料(Cavity-SOI)作为一种新型的SOI材料,与普通的SOI材料相比,其支撑体在键合前通过光刻及刻蚀工艺开出了特定的空腔,且这些空腔在表面形成特定的图形分布。随着MEMS118图库开奖结果的发展,在微镜...
  • 本发明涉及微图形压印,特别涉及到一种高效的3D微纳图形压印设备。随着半导体118图库开奖结果及电子精密零部件的不断发展,3D微纳图形级的118图库开奖结果118图库越来越广泛,从而微图形压印设备越来越广泛的118图库到各行各业。而现有118图库开奖结果的3D微纳图形压印设备整体结构单一,自动化程度低,采用此种结构不但降低了产品的加工精...
  • 本发明涉及半导体,特别涉及一种半导体装置及其制造方法。目前,在MEMS(MicroElectroMechanicalSystem,微机电系统)器件的制造工艺中,有时候会涉及到Al-Ge(铝-锗)结合工艺。以惯性传感器为例,在惯性传感器的结合(bonding)工艺发展过程中,A...
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